Het de behandelingsmateriaal van het staartgas kan gassen behandelen in etsprocessen en de processen van het chemische dampdeposito in de halfgeleider, het vloeibare kristal, en de zonne-energieindustrieën worden gebruikt, met inbegrip van SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, Co, NF3, SF6, C2F6, WF6 die, NH3, N2O, etc.
De methode van de uitlaatgasbehandeling
Volgens de kenmerken van uitlaatgasbehandeling, kan de behandeling in vier soorten behandeling worden verdeeld:
1. Het type van waterwas (behandeling van corrosieve gassen)
2. Oxyderend type (behandelend brandbare en giftige gassen)
3. Adsorptie (volgens het type van adsorptiemateriaal om het overeenkomstige uitlaatgas te behandelen).
4.Plasma verbrandingstype (allerlei uitlaatgassen kunnen worden behandeld).
Elk type van behandeling heeft zijn eigen voordelen en nadelen evenals zijn toepassingsgebied. Wanneer de behandelingsmethode waterwas is, is het materiaal goedkoop en eenvoudig, en kan in water oplosbare gassen slechts behandelen; de toepassingswaaier van het elektrische type van waterwas is hoger dan dat van het type van waterwas, maar de verrichtingskosten zijn hoog; het droge type heeft goede behandelingsefficiency, en is niet van toepassing aan de gasstroom die gemakkelijk om is worden belemmerd of stroomde.
Chemische producten en hun die bijproducten algemeen in de halfgeleiderindustrie kunnen worden de gebruikt volgens hun chemische eigenschappen en hun verschillend gamma worden gecategoriseerd:
1. Brandbare gassen zoals SiH4H2, enz.
2. Giftige gassen zoals AsH3, PH3, enz.
3. Corrosieve gassen zoals HF, HCl, enz.
4. Broeikasgassen zoals CF4, NF3, enz.
Aangezien de bovengenoemde vier gassen voor het milieu of het menselijke lichaam schadelijk zijn, moet zijn directe emissie in de atmosfeer verhinderen, zodat is de algemene halfgeleiderinstallatie geïnstalleerd met een groot gecentraliseerd systeem van de uitlaatgasbehandeling, maar dit systeem is slechts water het schrobben uitlaat, zodat is zijn toepassing beperkt tot de in water oplosbare gassen over lange afstand, en kan niet de continu veranderende en subtiele afdeling van het uitlaatgas van het halfgeleiderproces behandelen. Daarom is het noodzakelijk om het overeenkomstige die materiaal van de uitlaatgasbehandeling volgens de gaskenmerken te selecteren en aan te passen uit elk proces worden afgeleid het uitlaatgasprobleem op een kleine manier op te lossen. Aangezien de werkplaats meestal vanaf het centrale systeem van de uitlaatgasbehandeling is, vaak wegens gas leiden de kenmerken tot kristallisatie of stofaccumulatie in de pijpleiding, resulterend in het belemmeren van de pijpleiding die tot gaslekkage leiden, en in ernstige gevallen, veroorzaak zelfs een explosie, kan niet ervoor zorgen dat de het werkveiligheid van het plaatspersoneel. Daarom in de behoefte van het het werkgebied om een klein materiaal te vormen van de uitlaatgasbehandeling geschikt voor de kenmerken van het procesgas om het stagnerende uitlaatgas in het het werkgebied te verminderen, om de veiligheid van personeel te verzekeren.