Diepgaande expertise in speciale gassystemen voor halfgeleiderovenapparatuur

Als een hoeksteen van de hightechsector is de halfgeleiderindustrie afhankelijk van precisieapparatuur: vacuümovens voor kristalgroei, CVI-ovensen SiC/TaC coating-afzettingovens zijn van cruciaal belang voor de voorbereiding van het materiaal en de verpakking van het apparaatDe stabiliteit en precisie van deze systemen zijn sterk afhankelijk van de levering van ultra-hoge zuiverheid van speciaal gas.biedt op maat gemaakte gasdistributie- en -voorziening oplossingen die zijn afgestemd op elk type oven.

01Vacuümovens voor kristalgroei

De groei van kristallen vereist een uitzonderlijke zuiverheid van het gas ∙ zelfs sporen van onzuiverheden kunnen defecten veroorzaken.Ra ≤ 10 μin) om de adsorptie van deeltjes tot een minimum te beperkenBij het snijden van de buizen worden speciale snijmachines van roestvrij staal gebruikt, met ontbossing, kampering,en hoogzuivere stikstofreinigingOrbitaal autogeen TIG-lassen met argonbescherming zorgt voor lek- en verontreinigingsvrije verbindingen.Hoogprecise massa-stroomregulators met intelligente drukregulatie en geïntegreerde gaszuiveringsinstallaties zorgen voor de ultrahoge zuiverheid die vereist is voor een consistente kristalgroei.

02CVI-afzettingsoofens

CVI-ovens die werken bij temperaturen tot 2.100°C vereisen uitzonderlijke stabiliteit en gelijkheid van de gasstroom.Wofly ontwerpt corrosiebestendige leidingsystemen met koolstofstaal (poederbedekt) of roestvrij staalDe geïntegreerde gasrouting verkort de leveringsroutes en verkort de verblijfstijd.Terwijl precisie stroomregelsystemen nauwkeurig regelen voorlopers zoals propyleen en methaan om complexe CVI procescurves te matchen- Alle afdichtingen worden voorzien van roestvrijstalen of nikkelpakkingen - niet-metalen pakkingen zijn ten strengste verboden - waardoor de risico's van lekken bij hoge temperatuur worden uitgesloten.

03SiC- en TaC-coatingsdepositooven

Deze ovens werken bij 1500 ∼ 2000 °C met agressieve voorlopersgassen, waaronder hafniumtetrachloride, tantalumpentachloride en methaan.Wofly gebruikt EP-grade 316L SS-leidingen met VCR-metalen gezichtsdichtingsbevestigingen om dode ruimte te elimineren en grondige zuivering mogelijk te makenSpeciale verdampingseenheden behandelen poedervormers (TaCl5, HfCl4) met intelligente verhoudingregeling voor een nauwkeurige matching van de methaan/waterstofstroom (bv. CH4 180 ml/min, H2 900 ml/min).Geïntegreerde GDS-gasdetectiesystemen met noodoplossingsverbinding zorgen voor veiligheidsbewaking in realtime.

One-Stop Lifecycle Service Wofly's service bestrijkt de volledige levenscyclus van het project: terreinonderzoek en procesanalyse, systeemontwerp op maat, prefabricage (max 12 m gelaste secties,elke 3 m tijdens het vervoer ondersteund)De installatie op locatie, druk/lek/deeltjes/zuiverheidstests en de voortdurende kalibratie en onderhoud.

Terwijl de halfgeleidertechnologie vooruitgang boekt, blijft Wofly toegewijd aan slimme, precisie-grade speciale gasoplossingen, die klanten wereldwijd helpen veiliger, betrouwbaarder,met een vermogen van niet meer dan 10 kW.