In halfgeleiders, lithiumbatterijen en opto-elektronica is een stabiele speciale gasvoorziening de basis van continue productie.Het gasvullingssysteem de kritische knooppunt tussen de gasbron en het gebruikspunt bepaalt rechtstreeks de veiligheid, continuïteit en zuiverheid.
Een gasvullingssysteem laadt industriële gassen in cilinders of containers bij bepaalde druk, temperatuur en zuiverheid.
| Verplichting | Beschrijving |
| Veiligheid | Strikte druk- en temperatuurcontrole; voorkomen van over- en misvullen |
| Zuiverheidsborging | Verwijder de onzuiverheden gedurende de gehele vulcyclus |
| Precieze meting | Precieze vulhoeveelheid in gewicht of volume, volgens nationale normen |
| Continu bedrijf | Volledige multi-cylinders met een hoog doorvoerpercentage |
Gebaseerd opGB16163-1996, worden industriële gassen ingedeeld op basis van hun fysische toestand en chemische eigenschappen.
Bulkgassen conventionele gassen met een groot volume (O2, N2, Ar, H2, CO2, C2H2):
| Categorie | Critische temperatuur | Staat |
| Permanente gassen | < -10°C | Gasvormig |
| Hoogdrukvloeistof | -10°C tot 70°C | Vloeistof, verdampt boven de kritieke temperatuur |
| Opgelost acetyleen | — | Opgelost in oplosmiddel onder druk |
Specialiteitsgassen- gassen van hoge zuiverheid en een klein volume voor elektronica en speciale chemische stoffen:
met een gewicht van niet meer dan 10 kg
onder lage druk vloeibaar gemaakt (> 70°C):
| # | Module | Functie |
| 1 | Gasbronverordening | Inlaat, drukregeling, gestabiliseerde uitslag |
| 2 | Vullingsrek en -balk | Kern-meercilinder parallelle vuleenheid |
| 3 | Meting en besturing | Gewichts-/drukbewaking, geautomatiseerde kleppen, veiligheidssluitingen |
| 4 | Veiligheid | Verlichting van de overdruk, noodstop, detectie van lekken |
| 5 | Reiniging en filtratie | Pre-filing gaszuivering |
| 6 | Reiniging van de afvoergassen | Terugwinning of onschadelijke verwijdering van restgas |
OplaadcombinatieDe centrale uitvoeringsunit. EP-gehalte geëlektro-gepolijst roestvrij staal met vertakkingskleppen en speciale aansluitingen maakt gelijktijdig meercilinderbatchvullen mogelijk.zuurstof, waterstof, argon en speciale gasvarianten gebruiken elk overeenkomstige materialen en afdichtingen.
Gasmanifold systeem Het combineert meerdere cilindergroepen met primaire/secundaire drukreductie, waardoor een ononderbroken aanvoer mogelijk is door middel van geautomatiseerde bankschakeling essentieel voor continue bulkgasvulling.
Groepering van drukregulerende kleppen Vermindert de druk van het brongas onder hoge druk tot de beoogde vuldruk.de diafragma-reductieapparatuur is verplicht: door een diafragma afgesloten kamers elimineren interne verontreiniging en behouden een zuiverheid op ppb-niveau die van cruciaal belang is voor toepassingen op halfgeleiderniveau.
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
indonesia
ไทย
polski