Het gebruik van gassen in de halfgeleiderindustrie gaat terug tot het begin van de jaren vijftig en zestig.Gassen worden hoofdzakelijk gebruikt om halfgeleidermaterialen te reinigen en te beschermen om hun zuiverheid en kwaliteit te waarborgenDe meest gebruikte gassen zijn stikstof en waterstof.
In 1970 werd de vraag naar gassen verhoogd door de ontwikkeling van de halfgeleidertechnologie en de voortzetting van de verbetering van de productieprocessen.de toepassing van gassen in belangrijke processen zoals etsen en afzetting van dunne films is geleidelijk toegenomen, en fluoridegassen (bijv. SF6) en zuurstof werden veelgebruikte etserings- en afzettingsgasen.In 1980 is de vraag naar gassen met de ontwikkeling van geïntegreerde schakelingen en de toename van de vraag naar gassen nog verder toegenomen.Waterstof werd veel gebruikt in het productieproces, waaronder waterstofverhitting en waterstofdamp-afzetting.de vraag naar hoogzuivere gassen en specifieke gassen is toegenomen doordat de grootte van de halfgeleiderapparaten steeds kleiner is geworden en nieuwe processen zijn ingevoerdBijvoorbeeld, de toepassing van extreme ultraviolette lithografie (EUV) vereist het gebruik van uiterst zuivere gassen zoals stikstof en waterstof.
Het halfgeleidergas blijft toenemen met de ontwikkeling van aanverwante producten gedreven door steeds meer producten worden onthuld, terwijl het gas ook behoort tot de bron van gevaar,dus de producten die worden gebruikt voor gasdekompressie, gasdetectieproducten en gaslekpreventieproducten zijn ontstaan, zoals drukregulatoren, gaskleppen, gasdrukmeters, gaslekdetector, enz., en hun functies zijn als volgt:
drukregelaars: Drukregulatoren zijn apparaten die worden gebruikt om de gasdruk te regelen.Drukregulatoren nemen een hoogdrukgasinvoer en stabiliseren de druk van het uitgangsgas door het klep aan te passen aan specifieke toepassingsvereistenDe drukregulatoren worden veel gebruikt in industriële, productie- en laboratoriumsectoren en in de halfgeleiderindustrie.om de stabiliteit en veiligheid van de gasvoorziening te waarborgen.
Gaskleppen:Gaskleppen worden gebruikt om de gasstroom te regelen en om gaspassages te sluiten.met inbegrip van handkleppenDeze systemen worden veel gebruikt in gassystemen om de doorstroming, druk en doorstroming van gassen te regelen.
Gasdrukmeters:Gasdrukmeters worden gebruikt om het drukniveau van een gas te meten.Ze worden gewoonlijk op kritieke plaatsen in gassystemen geïnstalleerd om drukveranderingen te controleren en ervoor te zorgen dat ze binnen de veiligheidsgrens liggenGasdrukmeters worden veel gebruikt in de industrie, de verwerking en in laboratoria, en de halfgeleiderindustrie is ook betrokken.
Gaslekdetectoren:Gaslekdetectoren worden gebruikt om lekken in gassystemen te detecteren.Gaslekdetectoren worden veel gebruikt in industriële, chemische, olie- en gastoepassingen en de halfgeleiderindustrie zijn ook betrokken.