De ultrahoge zuiverheidsgassen zijn essentieel door de keten van de halfgeleiderlevering. In feite, voor een typische fab, zijn high-purity gassen de grootste materiële uitgave na silicium zelf. In het spoor van het globale spaandertekort, breidt de industrie zich sneller uit dan ooit - en de vraag naar hoge zuiverheidsgassen stijgt.
De het meest meestal gebruikte bulkgassen in halfgeleider productie zijn stikstof, helium, waterstof en argon.
Stikstof
De stikstof maakt omhoog 78% van onze atmosfeer en is uiterst overvloedig. Het gebeurt ook chemisch inert en niet geleidend te zijn. Dientengevolge, heeft de stikstof zijn weg in een aantal industrieën als rendabel inert gas gevonden.
De halfgeleiderindustrie is een belangrijke consument van stikstof. Een moderne halfgeleider productieinstallatie zou moeten tot 50.000 kubieke meters van stikstof per uur gebruiken. Bij halfgeleider productie, doet de stikstof dienst als algemeen doel neutralisering en het zuiveren gas, die gevoelige siliciumwafeltjes beschermen tegen reactieve zuurstof en vochtigheid in de lucht.
Helium
Het helium is een inert gas. Dit betekent dat, als stikstof, helium chemisch inert is - maar het heeft ook het toegevoegde voordeel van hoog warmtegeleidingsvermogen. Dit is bijzonder nuttig in halfgeleider productie, toestaand het om hitte vanaf high-energy processen efficiënt te leiden en hulp bescherm hen tegen thermische schade en ongewenste chemische reacties.
Waterstof
De waterstof wordt gebruikt uitgebreid door het elektronika productieproces, en de halfgeleiderproductie is geen uitzondering. In het bijzonder, wordt de waterstof gebruikt voor:
Het ontharden: De siliciumwafeltjes worden typisch verwarmd aan hoge temperaturen en aan reparatie (onthard) de kristalstructuur langzaam gekoeld. De waterstof wordt gebruikt om hitte gelijk over te brengen naar het wafeltje en in het herbouwen van de kristalstructuur bij te wonen.
Epitaxy: De ultrahoge zuiverheidswaterstof wordt gebruikt als verminderende agent in het epitaxial deposito van halfgeleidermaterialen zoals silicium en germanium.
Deposito: De waterstof kan in siliciumfilms worden gesmeerd om hun atoomstructuur wanordelijker te maken, helpend om weerstandsvermogen te verhogen.
Plasma die schoonmaken: Het waterstofplasma is bijzonder efficiënt in het verwijderen van tinverontreiniging van lichtbronnen die in UVlithografie worden gebruikt.
Argon
Het argon is een ander edel gas, zodat stelt het dezelfde lage reactiviteit tentoon zoals stikstof en helium. Nochtans, maakt de lage de ionisatieenergie van het argon het in halfgeleidertoepassingen nuttig. Wegens zijn relatief gemak van ionisatie, wordt het argon algemeen gebruikt aangezien het primaire plasmagas voor etst en deposito in halfgeleider productie reacties. Naast dit, wordt het argon ook gebruikt in excimer lasers voor UVlithografie.
Waarom de zuiverheid van belang is
Typisch, is de vooruitgang in halfgeleidertechnologie bereikt door grootte het schrapen, en de nieuwe generatie van halfgeleidertechnologie wordt gekenmerkt door kleinere eigenschapgrootte. Dit brengt veelvoudige voordelen op: meer transistors in een bepaald volume, betere stromen, een lagere machtsconsumptie en een snellere omschakeling.
Nochtans, aangezien de kritieke grootte vermindert, worden de halfgeleiderapparaten meer en meer verfijnd. In een wereld waar de positie van individuele atomen van belang is, zijn de fouttolerantiedrempels zeer strak. Dientengevolge, vereisen de moderne halfgeleiderprocessen procesgassen met de hoogste mogelijke zuiverheid.
WOFLY is een high-tech onderneming die zich in het systeemtechniek van de gastoepassing specialiseert: het elektronische speciale gassysteem, het de kringssysteem van het laboratoriumgas, het industriële gecentraliseerde systeem van de gaslevering, het bulkgas (vloeistof) systeem, het hoge zuiverheidsgas en het speciale secundaire de leidingensysteem van het procesgas, chemisch leveringssysteem, zuiver watersysteem om een volledige reeks techniek en de technische diensten en assistentproducten te verlenen van het technische raadplegen, algemene planning die, systeemontwerp, het materiaal selecteert, prefabriceerden componenten, de installatie en de bouw van de projectplaats, het algemene systeem testen, onderhoud en andere ondersteunende producten op een geïntegreerde manier.