Naarmate de markt voor halfgeleiders groeit, worden de normen voor zuiverheid en nauwkeurigheid steeds strenger.Een van de bepalende factoren voor de kwaliteit van de vervaardiging van halfgeleiders zijn de gassen die in het proces worden gebruikt.Deze gassen spelen in het productieproces vele rollen, zoals:
Precieze procescontrole
Contaminatiepreventie
Verbetering van de metallurgische eigenschappen
Om deze functies effectief te vervullen, moet het gasvoorziening- en distributiesysteem efficiënt zijn.Het ontwerp van gasbehandelingssystemen die worden gebruikt bij de vervaardiging van halfgeleiders moet worden ondersteund door robuuste componenten en op maat gemaakte assemblages om een betrouwbare en hoogwaardige productie van halfgeleiders te garanderen..
Gassen voor de vervaardiging van halfgeleiders
Het proces van productie van halfgeleiders vereist het gebruik van verschillende gassen in verschillende stadia van het proces.
Hoewel gewone gassen zoals stikstof, waterstof, argon en helium in hun zuivere vorm kunnen worden gebruikt, kunnen bepaalde processen speciale mengsels vereisen.Halogeniden en koolwaterstoffen zijn enkele van de speciale gassen die worden gebruikt bij de vervaardiging van halfgeleiders.Veel van deze gassen kunnen gevaarlijk of zeer reactief zijn, wat uitdagingen oplevert bij de selectie en het ontwerp van onderdelen voor gassystemen.
Hier zijn enkele voorbeelden:
Waterstof en helium kunnen door hun kleine atoomgrootte en -gewicht gemakkelijk uit leidingen en installaties lekken.
Silanen zijn zeer ontvlambaar en kunnen in de lucht spontaan ontbranden.
Stikstofdifluoride dat wordt gebruikt in de afzetting, etsen en kamerreiniging, wordt een krachtig broeikasgas wanneer het in het milieu uitmondt.
Waterstoffluoride (etsengas) is zeer corrosief voor metalen leidingen.
Trimethylgallium en ammoniak kunnen moeilijk te hanteren zijn - kleine schommelingen in hun temperatuur- en drukvereisten kunnen het afzettingsproces beïnvloeden.
Het beheersen van de procesomstandigheden om de negatieve effecten van deze gassen tot een minimum te beperken, moet bij het ontwerp van het systeem een topprioriteit zijn.Het is even belangrijk om de hoogste kwaliteit componenten zoals AFK diafragma kleppen tijdens het bouwproces te gebruiken.
Het aanpakken van problemen bij het ontwerp van systemen
Gassen van halfgeleiderkwaliteit zijn in de meeste gevallen van hoge zuiverheid en zorgen voor inerte omstandigheden of verbeteren reacties in verschillende stadia van het productieproces, zoals etch- en afzettingsgasen.Het lekken of vervuilen van dergelijke gassen kan negatieve gevolgen hebbenDaarom, it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.
Bovendien kunnen sommige van deze gassen worden verwarmd of gekoeld om de gewenste procesomstandigheden te bereiken.die van cruciaal belang is voor de efficiënte werking van het eindproduct.
Van de bron tot het punt van gebruik, ondersteunt AFK's brede assortiment componenten de ultra-hoge zuiverheid, temperatuur,druk- en stroomregeling vereist in halfgeleiderschone ruimtes en vacuümkamers.
Ontworpen systemen met kwaliteitscomponenten in halfgeleiderfabrieken
De rol van kwaliteitscomponenten en ontwerpoptimalisatie is van cruciaal belang voor de precieze controle en veilige productie van halfgeleiders.De gebruikte onderdelen moeten robuust en lekvrij zijn om te voldoen aan de verschillende procesomstandigheden die in verschillende stadia van de productie vereist zijn.AFK's kwalitatief hoogwaardige kleppen, fittings, regelaars, leidingen en afdichtingsbeugels kenmerken zich door de volgende kenmerken:
Ultrahoge zuiverheid
Afdichtingen zonder lekken
Temperatuurgecontroleerde isolatie
Drukregeling
Corrosiebestendigheid
Elektrolytische polijstbehandeling