High-purity gas het door buizen leiden technologie is een belangrijk stuk van high-purity systeem van de gaslevering, dat de belangrijkste technologie is om het vereiste high-purity gas te leveren aan het punt van gebruik en nog de gekwalificeerde kwaliteit te handhaven; High-purity gas het door buizen leiden technologie omvat het correcte ontwerp van het systeem, de selectie van montage en toebehoren, bouw en installatie, en het testen. De laatste jaren, hebben de meer en meer strenge eisen op de zuiverheid en de onzuiverheidsinhoud van high-purity gassen in de productie van micro-elektronicaproducten door geïntegreerde schakelingen op grote schaal worden vertegenwoordigd de leidingentechnologie van high-purity meer en meer betroffen en benadrukte die gassen gemaakt. Het volgende is een kort overzicht van het high-purity gas door buizen leiden van materiële selectie van bouw, evenals goedkeuring en dagelijkse beheer.
Types van gemeenschappelijke gassen
Classificatie van gemeenschappelijke gassen in de elektronische industrie:
Gemeenschappelijke gassen (Bulkgas): waterstof (H2), stikstof (N2), zuurstof (O2), argon (A2), enz.
DE SPECIALITEITgassen ZIJN SIH4, PH3, B2H6, A8H3, CL, HCL, CF4, NH3, POCL3, SIH2CL2 SIHCL3, NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR SF6 ...... ENZ.
De types van speciale gassen kunnen over het algemeen als corrosief gas, giftig gas, brandbaar gas, brandbaar gas, inert gas, enz. worden gerangschikt. De algemeen gebruikte halfgeleidergassen zijn als volgt over het algemeen geclassificeerd.
(i) corrosief/giftig gas: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… enz.
(ii) brandbaarheidsgas: H2, ch4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, Co… enz.
(iii) brandbaarheidsgas: O2, Cl2, N2O, NF3… enz.
(iv) inert gas: N2, CF4, C2F6, C4F8, SF6, Co2, Ne, Kr, hij… enz.
Vele halfgeleidergassen zijn schadelijk voor menselijk lichaam. In het bijzonder, sommige van deze gassen, zoals de zelfontbranding van SiH4, zolang een lek hevig met de zuurstof in de lucht zal reageren en zal beginnen te branden; en hoogst giftige AsH3, om het even welke lichte lekkage kan het risico van mensenleven veroorzaken, is het wegens deze duidelijke gevaren, zodat is de eisen ten aanzien van de veiligheid van het systeemontwerp bijzonder hoog.
Bereik Application van gassen
Als belangrijke fundamentele grondstof van de moderne industrie, worden de gasproducten wijd gebruikt, en een groot aantal gemeenschappelijke gassen of speciale gassen wordt gebruikt in metallurgie, staal, aardolie, de chemische industrie, machines, elektronika, glas, keramiek, bouwmaterialen, bouw, voedselverwerking, geneeskunde en medische sectoren. De toepassing van gas heeft een belangrijke invloed in het bijzonder op het geavanceerd technisch van deze gebieden, en is zijn onontbeerlijk grondstoffengas of procesgas. Slechts met de behoeften en de bevordering van diverse nieuwe industriesectoren en moderne wetenschap en technologie, kunnen de producten van de gasindustrie halsoverkop in termen van verscheidenheid, kwaliteit en hoeveelheid worden ontwikkeld.
Gastoepassing in micro-elektronica en de halfgeleiderindustrie
Het gebruik van gas heeft altijd een belangrijke rol in het halfgeleiderproces gespeeld, vooral is het halfgeleiderproces wijd gebruikt in diverse industrieën, van traditionele ULSI, TFT LCD aan de huidige micro-electro-mechanical industrie (van MEMS), die het zogenaamde halfgeleiderproces als productieproces van producten gebruiken. De zuiverheid van het gas heeft een beslissende invloed op de prestaties van componenten en productopbrengsten, en de veiligheid van de gaslevering is verwant met de gezondheid van personeel en de veiligheid van installatieverrichtingen.
De betekenis van het high-purity door buizen leiden in high-purity gasvervoer
Tijdens roestvrij staal dat en, over 200g van gas materieel kan per ton worden geabsorbeerd smelt maakt. Na de verwerking van roestvrij staal, niet alleen absorbeerde zijn oppervlakte kleverig met diverse verontreinigende stoffen, maar ook in zijn metaalrooster ook een bepaalde hoeveelheid gas. Wanneer er luchtstroom door de pijpleiding is, absorbeert het metaal dit deel van het gas zal weer opnemen de luchtstroom, die het zuivere gas verontreinigt. Wanneer de luchtstroom in de buis onderbroken stroom is, adsorbeert de buis het gas onder druk, en wanneer de luchtstroom ophoudt voorbijgaand die, het gas door de buis wordt geadsorbeerd een op te lossen drukdaling vormt, en het vastbesloten gas gaat ook het zuivere gas in in
Algemeen concept schone technologie voor transmissie en distributiepijpleidingen
De hoogst zuivere en schone transmissie van het gaslichaam met leidingen betekent dat er bepaalde eisen of controles ten aanzien van drie aspecten van het te vervoeren gas zijn.
Gaszuiverheid: De inhoud van onzuiverheidsatmosfeer in de gGaszuiverheid: De inhoud van onzuiverheidsatmosfeer in het gas, gewoonlijk als percentage van gaszuiverheid wordt uitgedrukt, zoals 99.9999%, ook als volumeverhouding wordt uitgedrukt van de inhoud p.p.m. dat van de onzuiverheidsatmosfeer, ppb, ppt.
Droogte: de hoeveelheid spoorvochtigheid in het gas, of het bedrag riep vochtigheid, gewoonlijk in termen van dauwpunt wordt uitgedrukt, zoals punt van de luchtdrukdauw -70 die. C.
Netheid: het aantal verontreinigende stofdeeltjes in het gas, deeltjesgrootte van µm, hoeveel particles/M3 om, voor samengeperste lucht uit te drukken, drukte gewoonlijk ook uit in termen van hoeveel mg/m3 van onvermijdelijke stevige residu's, wat het oliegehalte behandelt.
Vervuilende grootteclassificatie: de vervuilende die deeltjes, verwijst hoofdzakelijk naar pijpleiding het schuren, slijtage, corrosie door metaaldeeltjes wordt geproduceerd, atmosferische roetdeeltjes, evenals zijn de micro-organismen, de bacteriofagen en moisture-containing druppeltjes van de gascondensatie, enz., volgens de grootte van zijn deeltjesgrootte verdeeld in
a) Grote deeltjes - deeltjesgrootte boven 5μm
b) Deeltje - materiële diameter tussen 0.1μm5μm
c) Ultra-micro- deeltjes - deeltjesgrootte minder dan 0.1μm.
om de toepassing van deze technologie te verbeteren, aan op waarneming gebaseerd begrip van deeltjesgrootte en eenheden te kunnen μm, wordt een reeks van specifieke deeltjesstatus verstrekt voor verwijzing
Het volgende is een vergelijking van specifieke deeltjes
Van de de grootte (µm) Naam van naam/Particle van de de grootte (µm) Naam van /Particle het Deeltjesgrootte µm
Virus 0.003-0.0 Aërosol 0.03-1 Aerosolized microdroplet 1-12
Kernbrandstof 0.01-0.1 Verf 0.1-6 vliegas 1-200
Zwartsel 0.01-0.3 Melkpoeder 0.1-10 Pesticide 5-10
Hars 0.01-1 stof 5-100 van het Bacteriën 0.3-30 Cement
Sigaretrook 0.01-1 Zandstof 0.5-5 Stuifmeel 10-15
Silicone 0.02-0.1 Pesticide 0.5-10 Menselijk haar 50-120
Gekristalliseerd zout 0.03-0.5 Geconcentreerd Overzees van zwavelstof 1-11 zand 100-1200