Wofly Technology VMB Valve Manifold Distribution Box voor Silane toepassingen

VMB Ventielsamenstel Verdeelkast voor silanen

Dubbele zekerheid van veiligheid en precisie bij de distributie van speciale gassen met een hoog risico

01 Kernfuncties

Single-source multi-path-distributie, onafhankelijk filiaalbeheer

De apparatuur kan een enkele silaangastoevoer van een stroomopwaartse speciaalgaskast opsplitsen in meerdere onafhankelijke leveringstakken, waardoor tegelijkertijd gas wordt geleverd aan meerdere proceseenheden, en ondersteunt indien nodig aanpassing van filialen. Elke tak is uitgerust met een onafhankelijke aan/uit-klep en een drukbewakingseenheid, waardoor afzonderlijke regeling van de gasstroom en uitschakeling voor onderhoud mogelijk is. Onderhoud aan één vestiging interfereert niet met de normale gastoevoer naar andere vestigingen, waardoor het risico op uitval van de productielijn wordt geminimaliseerd.

Inerte spoeling en vacuümvervanging om de operationele veiligheid te garanderen

Het systeem beschikt over ingebouwde zuiveringsleidingen voor zeer zuivere stikstof (PN₂) en vacuümextractieleidingen. Voorafgaand aan het onderhoud van een filiaal, het opstarten of afsluiten van de apparatuur, of het demonteren en opnieuw monteren van de pijpleiding, kan de doelpijpleiding een volledige zuivering van inert gas en vacuümvervanging ondergaan, waarbij het resterende silaangas grondig uit de leidingen wordt verwijderd en spontane ontbranding wordt voorkomen die wordt veroorzaakt doordat silaan in contact komt met lucht nadat de klep is geopend. Dit voldoet volledig aan de veiligheidseisen voor silaansystemen zoals uiteengezet in de Engineering Technical Standards for Special Gas Systems.

316LEP-kwaliteit roestvrijstalen leidingen

Realtime drukbewaking en interlockwaarschuwingen voor abnormale omstandigheden

Elke aftakleiding is uitgerust met zeer nauwkeurige manometers en druksensoren die realtime drukomstandigheden aan de inlaat en uitlaat weergeven en de configuratie van alarmen voor de bovenste en onderste druklimiet ondersteunen. Gecombineerd met pneumatische noodafsluitkleppen kan het systeem snel de bijbehorende aftakleiding (of zelfs de hoofdgastoevoer) afsluiten bij het detecteren van risico's zoals abnormale druk of gaslekken. Het activeert hoorbare en visuele alarmen en integreert met het centrale besturingssysteem van de fabriek om noodreacties op millisecondenniveau te realiseren.

Onder negatieve druk afgedichte bescherming, gecentraliseerde lekcontrole

Het systeem maakt gebruik van een volledig gesloten kaststructuur, met een uitlaatpoort aan de bovenkant en een inlaatrooster aan de onderkant, om tijdens bedrijf een stabiele negatieve druk in de kast te behouden. Zelfs in het geval van een spoorlek wordt silaangas opgesloten in de kast en centraal via het uitlaatsysteem naar de uitlaatgasbehandelingsunit afgevoerd, waardoor wordt voorkomen dat het gelekte gas zich naar de productiewerkplaats verspreidt en de risico's van zelfontbranding en vergiftiging op ruimtelijk niveau worden geëlimineerd.

02 Kernfuncties

Veiligheidsontwerp specifiek voor risicovolle gassen

Het systeem is specifiek geoptimaliseerd voor de zelfontbranding en explosieve eigenschappen van silaan en kan worden uitgerust met ingebouwde silaangasdetectoren en vlamdetectieapparatuur. Alle elektrische componenten voldoen aan de explosieveilige specificaties en het meerlaagse veiligheidsmechanisme voldoet volledig aan de controlenormen voor speciale gassen met een hoog risico, en overtreft ruimschoots het veiligheidsniveau van standaard VMB's met inert gas.

Hoogzuivere gasvoorziening van elektronicakwaliteit

Alle doorstroomcomponenten zijn gemaakt van SS316L EP-kwaliteit roestvrij staal met elektrolytisch gepolijste binnenoppervlakken. De leidingen worden vervaardigd met behulp van een volledig geautomatiseerd spoorlasproces, waardoor er geen dode hoeken en geen deeltjes vrijkomen. De kleppen ondergaan een heliumlektest met een leksnelheid van ≤1×10⁻⁹ atm・cc/s, wat garandeert dat de zuiverheid van het silaangas gedurende het hele proces ongecompromitteerd blijft en voldoet aan de eisen van uiterst nauwkeurige productieprocessen.

Vloerstaand ontwerp biedt superieur aanpassingsvermogen

Het vloerstaande beugelontwerp zorgt voor een groter draagvermogen en elimineert de noodzaak voor installatie aan de muur. Het kan flexibel in verschillende omgevingen worden geplaatst, zoals rond cleanrooms of langs speciale gascorridors, waardoor het beter aanpasbaar is aan complexe productielijnindelingen in vergelijking met aan de muur gemonteerde VMB's.

VMB Interne kleppen / membraankleppen / manometers

03 Kerntoepassingsscenario's

Productie van halfgeleiderwafels

Dit systeem is compatibel met dunne-filmdepositieprocessen zoals PECVD, LPCVD en ALD in waferproductielijnen en verdeelt silaangas nauwkeurig over meerdere coatingapparaten, waardoor processtabiliteit voor de afzetting van siliciumnitride- en siliciumoxidefilms wordt gegarandeerd. Het voldoet ook aan de veiligheidscontrole-eisen voor risicovolle gassen in cleanrooms, waardoor het de standaardconfiguratie is voor secundaire distributie van speciale gassen in waferfabrieken.

Productie van fotovoltaïsche cellen

Dit systeem wordt op grote schaal gebruikt in hoogefficiënte celproductielijnen zoals TOPCon, HJT en heterojunctie en maakt de distributie van silaangas naar meerdere machines mogelijk tijdens op silicium gebaseerde dunne-filmdepositie- en dopingprocessen. Het voldoet aan de continue vraag naar gastoevoer van fotovoltaïsche productielijnen met hoge capaciteit en biedt tegelijkertijd flexibiliteit voor lijnretrofits en -uitbreidingen, waardoor de kosten worden verlaagd en de efficiëntie wordt verbeterd.

-VMB-

Productie van display- en opto-elektronica van de volgende generatie

Wij bedienen TFT-LCD-, AMOLED- en Mini/Micro LED-displaypaneelproductielijnen, maar ook op gebieden zoals optische vezelvoorvormen en samengestelde halfgeleiders, en bieden stabiele en controleerbare silaandosering en -levering voor dunne-filmdepositie- en etsprocessen, afgestemd op de grootschalige, multi-machine gastoevoerlay-outs van productielijnen van de hoogste generatie.

Onderzoeksinstituten en testlaboratoria

Biedt kleinschalige silaandistributieoplossingen voor materiaal-R&D en procesvalidatieplatforms in universitaire laboratoria en onderzoeksinstellingen, waarbij operationele veiligheid in evenwicht wordt gebracht met gastoevoerprecisie om te voldoen aan de behoeften van experimentele gastoepassingen met kleine batches en meerdere omstandigheden.

Voordelen van WolfTechnologieproducten en -diensten

1. Interne R&D en productie, met uitstekende aanpassingsmogelijkheden

Als een hightech onderneming op nationaal niveau en een ‘gespecialiseerde, verfijnde, onderscheidende en innovatieve’ onderneming beschikt Wofly Technology over onafhankelijke R&D- en productiecapaciteiten. Het bedrijf heeft zijn eigen productiebasis van 8.000 vierkante meter opgezet, compleet met klasse 100 en klasse 1.000 cleanroom-assemblagewerkplaatsen. Het volledige productieproces voor de volledige VMB-productserie – van het ontwerp van de oplossing en de klepassemblage tot het testen en verzenden – wordt in eigen huis voltooid. Producten kunnen volledig worden aangepast om te voldoen aan de specifieke eisen van de klant met betrekking tot het aantal gasuitlaten, drukparameters, regelmodi en installatiescenario's, waarbij wordt voldaan aan de behoeften van productielijnen in verschillende industrieën en op verschillende schaalniveaus.

Binnenaanzicht van de VMB, speciaal ontworpen voor silanen

2. Volledige kwalificaties en gegarandeerde naleving

Het bedrijf beschikt over een gespecialiseerde aannemingskwalificatie voor het bouwen van mechanische en elektrische installatieprojecten, een GC2-kwalificatie voor het ontwerp en de installatie van drukleidingen en een arbeidsveiligheidsvergunning. Onze producten hebben meerdere certificeringen gekregen, waaronder CE en ISO 9001. Ontwerp en productie voldoen strikt aan de nationale normen voor speciale gastechniek, zoals GB 50646. Alle apparatuur ondergaat uitgebreide heliumlektests en functionele tests voordat ze de fabriek verlaten, zodat deze bij levering klaar is voor gebruik volgens de voorschriften.

Een rondleiding vanWolfTechnologieklasse 1.000 cleanroom

3. One-stop-service in de hele industriële keten

Wofly Technology gaat verder dan de eenvoudige levering van individuele apparatuur en biedt een allesomvattende, alles-in-één-oplossing die het hele proces bestrijkt: van de planning van speciale tankstations, de installatie van de hoofdpijpleiding en de lay-out van VMB-distributieknooppunten tot de secundaire leidingen op het eindpunt. Deze oplossing omvat de volledige levenscyclus, inclusief technisch advies, systeemontwerp, prefabricage en installatie, testen en acceptatie, en operationele en onderhoudstraining. Klanten hoeven niet met meerdere leveranciers te coördineren, waardoor de projectcommunicatie- en beheerkosten aanzienlijk worden verlaagd.

Intern aanzicht van de VMB, speciaal ontworpen voor silanen

4. Meer dan een decennium aan branche-expertise en uitgebreide implementatie-ervaring

Met meer dan een decennium aan diepgaande expertise op het gebied van speciale gassen voor de elektronica-industrie, omvatten onze diensten meerdere sectoren, waaronder halfgeleiders, fotovoltaïsche zonne-energie, biofarmaceutica en onderzoeksinstituten. We hebben met succes honderden engineeringprojecten voor speciale gassystemen geïmplementeerd. Ons kernteam beschikt over uitgebreide ervaring met het ontwerpen en bouwen van risicovolle speciaalgassystemen, waardoor we snel kunnen reageren op de behoeften van de klant en optimale oplossingen kunnen bieden die zijn afgestemd op de werkelijke bedrijfsomstandigheden.

WolfTechnology's VMB en speciaalgaskastshowcase

Als ‘eindpunthub’ van elektronische speciale gassystemen is de silaanspecifieke VMB een cruciaal onderdeel bij het garanderen van een veilige, stabiele en hoogzuivere gastoevoer naar productielijnen. Wofly Technology zal prioriteit blijven geven aan technologie en zijn producten iteratief optimaliseren voor verschillende risicovolle bedrijfsomstandigheden voor speciaal gas om de hoogwaardige productie-industrie te voorzien van betrouwbaardere en op maat gemaakte systeemoplossingen voor speciaal gas.