WOFLY onthult een zeer veilige Silane Valve Manifold Box (VMB) om de productie van halfgeleiders en fotovoltaïsche lampen te stimuleren

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY), een toonaangevende leverancier van ultra-hoge zuiverheid gasleveringssystemen, heeft zijn gespecialiseerde Silane Valve Manifold Box (VMB) officieel gelanceerd.speciaal ontworpen voor de distributie van gevaarlijke speciale gassenDit nieuwe systeem biedt een dubbele garantie van veiligheid en precisie voor bedrijfskritische processen in de halfgeleider-, fotovoltaïsche en opto-elektronica-industrie.

Silane (SiH4) vormt een hoeksteen van de moderne elektronicaproductie, maar brengt extreme risico's met zich mee vanwege zijn piroforische en explosieve aard.De nieuwe VMB-serie van WOFLY® beantwoordt deze uitdagingen door een combinatie van structurele innovatie en intelligente veiligheidscontroles.

Geavanceerde distributie en onafhankelijke controle

De WOFLY VMB is ontworpen om een enkele gasbron in meerdere onafhankelijke distributieafdelingen te splitsen en gas tegelijkertijd aan verschillende procesgereedschappen te leveren.Elke tak is voorzien van onafhankelijke afsluitkleppen en drukcontrole-eenheden, waardoor geïsoleerd onderhoud en probleemoplossing mogelijk zijn zonder de werking van andere productielijnen te onderbreken.

Kernveiligheidskenmerken en technische uitmuntendheid

1Inert zuiverings- en verplaatsingssysteem

Uitgerust met ingebouwde zuiverings- en vacuümleidingen voor hoogzuiver stikstof (PN2), die zorgen voor een grondige verwijdering van residuele silane voor onderhoud of vervanging van apparatuur,Strikt in overeenstemming met de veiligheidsnormen om spontane verbranding bij contact met lucht te voorkomen.

2. Real-time monitoring & interlock alarmen

Geïntegreerde hoge-precisie druksensoren en -meters zorgen voor een respons van milliseconden.onmiddellijk isoleren als er drukstoornissen of lekken worden vastgesteld.

3. Negatieve druk behuizing

De volledig afgesloten 316L roestvrijstalen kast handhaaft een stabiele negatieve druk.het elimineren van risico's voor de werkomgeving.

4Elektronische zuiverheid

Alle bevochtigde onderdelen zijn gemaakt van SS316L EP (Electro-gepolijst) roestvrij staal.deeltjesvrije omgeving met een heliumlekkage van ≤ 1 × 10−9 atm·cc/s, waarbij de integriteit van hoogzuiver gas wordt behouden.

Brede toepassingen in de industrie

De veelzijdigheid en het robuuste ontwerp van de WOFLY Silane VMB maken het de standaardconfiguratie voor:

- Halfgeleider Wafer Fab:Essentieel voor dunne-film afzettingsprocessen zoals PECVD, LPCVD en ALD.

- Productie van fotovoltaïsche cellenOp grote schaal gebruikt in hoog efficiënte cellijnen zoals TOPCon en HJT voor silicium gebaseerde filmdepositie.

- Geavanceerde Display Manufacturing:Ondersteuning van TFT-LCD, AMOLED en Mini/Micro LED-productie.

- Onderzoek & Laboratoria:Het leveren van kleinschalige, precieze distributie voor materiaalonderzoek en -ontwikkeling en procesverificatie.

"Veiligheid en zuiverheid zijn niet onderhandelbaar in de behandeling van speciale gassen", zei de technische directeur van WOFLY. "Onze nieuwe Silane VMB is niet alleen een distributiebox; het is een verpakking voor de verpakking van gassen.Het is een uitgebreid veiligheidsschild dat onze klanten in staat stelt om hun productie te schalen met absoluut vertrouwen.. "

Voor meer informatie over de Silane VMB of om ons volledige assortiment gasbehandelingsoplossingen te verkennen, bezoekt u onze website opDe Commissie heeft de Commissie verzocht de volgende informatie te verstrekken:Of neem contact met ons op info@szwofly.com.

Over WOFLY

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) is een gespecialiseerd fabrikant en ingenieursbureau dat zich richt op hoogzuivere gasleveringssystemen.WOFLY bedient de wereldwijde hightech-industrie met precisie-regulators, VMB's, gaskasten en geïntegreerde leidingsoplossingen.